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      Fiz3D 面型干涉儀 (VICT技術 1nm重復精度 1秒測量0.6米工件 觸摸屏操作)  

      Fiz3D 面型干涉儀 (VICT技術 1nm重復精度 1秒測量0.6米工件 觸摸屏操作)
      面型干涉是目前最主流的光學表面計量手段, Fiz3D 使用 Fizeau(斐索)干涉光路。VICT(Vibration Immunity at Crest and Trough 在波峰和波谷處的振動免疫) 打破了“干涉儀非常容易受到干擾、要在十分精密的環境下工作”的認知。
       華北西南東北 Tina
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       Nicky@microphotons.com
       華東華南臺灣 Daisy Lee
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      產品型號 1
      貨號 操作 名稱
      D80020082  Fiz3D 面型干涉儀 (VICT技術 1秒測量0.6米工件 觸摸屏操作)   [PDF] 測量尺寸(圓形-直徑):102mm;可立式或臥式使用; 測量精度:PV值31.64 nm或1/20λ RMS值 6.328 nm或1/100 λ; 硬件可靠性:平均無故障工作時間>1000小時 及 平均連續無故障工作時間>12小時/天;對準角度允差:± 3°;光瞳調焦范圍:≥±1.5米    價格 : ¥0 庫存/貨期:請咨詢客服
      總覽

      面型干涉是目前最主流的光學表面計量手段, Fiz3D 使用 Fizeau(斐索)干涉光路。

      VICT(Vibration Immunity at Crest and Trough 在波峰和波谷處的振動免疫) 打破了“干涉儀非常容易受到干擾、要在十分精密的環境下工作”的認知。


      產品特點

      30 納米 jue對精度,1nm重復精度 

      0.6 米直徑工件, 僅需 1 秒測量

      表面形貌 3D 成像

      全新的觸摸屏操作模式,Victsin 測量軟件,現已支持Windows11

      自動調平選件,讓全自動測量成為現實

      成盤測量選件 實現生產過程控制

      一臺機器可測量多種工件 通過更換不同的鏡頭 平面、凹面、凸面…

      通用參數

      能夠測量的工件 

      直徑 < 600 mm

      粗糙度 < Ra 0.1μm 平面或球面工件

      超快速、超高精度的表面形貌三維成像

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      通過光路擴展,  測量粗糙度> Ra 0.3 μm 的平面工件

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      通過CGH補償器, 測量復雜曲面

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      黑色或透明工件, 仍然能夠測量

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      適合半導體應用的MST(多表面測量) 一次采集, 同時完成上表面、下表面、厚度的計量。

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      適合半導體應用的jue對測距干涉,量程 > 100 μm 可進行臺階、翹曲度、熱變形的測量。

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      出色的動態范圍, 超過100條干涉條紋, 仍然可以分析

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      將 FEA(有限元分析)引入干涉儀結構設計

      根據文獻, 干涉計算對 0~120 Hz 的振動敏感。 因此, 我們將機械結構的 7 階模態設計到 127 Hz, 大大降低了機械結構對振動的敏感性

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      超高重復精度

      對一片 250mm 直徑的平晶進行 1000 次連續測量。

      PV 值的重復精度為 5.7 納米 (1/111 λ) 

      RMS 值的重復精度為 0.38 納米 (1/1666 λ)

      VICT Dop模式,數據未經人為修改


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      三維成像原理

      面型干涉是目前最主流的光學表面計量手段, Fiz3D 使用 Fizeau(斐索)干涉光路


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      VICT 技術原理

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      選件

      VICT High 超高精度 測量模式

      支持到0.1納米 ( 1/6330 λ)RMS重復精度 和1納米(1/633 λ)PV重復精度, 對環境擾動進行建模分析, 包括振動、氣流、光場在內的負面影響排除。

      沒有使用多次測量取平均的方法, 不會導致被測物面型被“美化” 。

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      VICT Dop 多普勒抗振動測量模式

      非常惡劣的工業環境下仍正常工作,所有模式中zui高的測量效率, 允許不使用隔振平臺。

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      蒙版跟蹤


      搜狗截圖20230531154811.png


      超分辨三維圖


      搜狗截圖20230531154914.png




      清潔度分析


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      基礎配置

      主機型號測量尺寸(圓形-直徑)(注1)立式使用臥式使用
      Type100102mmOKOK
      Type150152.4 mmOKOK
      Type250250mmOKOK
      Type340 (注2)340mmOKOK
      Type450457.2 mmxOK
      Type600609.6 mmxOK
      注1:在80%直徑以內使用時,可以獲得更好的測量效果。
      注2:推薦臥式使用,立式使用時會降低精度。

      激光測距點數標準692,224
      高清2,663,424
      高速186,623
      超高速692,224

      測量激光激光器類型波長(nm)8h波長穩定度(nm)(注1)壽命(h)(注2)
      穩定氦氖632.80.000520,000
      穩定半導體(注3)6330.0250,000
      高效氦氖632.80.120,000
      高效半導體(注4)63565,000
      注1:在恒溫,隔振的實驗室測試。
      注2:由激光器廠家提供的參考壽命。
      注3:推薦用于Vctsin MST
      注4:可用于Victsin MST
      計算機CPU獨立顯卡顯示屏操作系統
      Intel 12代i712核心NVIDIA Quadro2k分辨率Win10

      測量軟件Victsir軟件模塊掃描方式單平面干涉(注1)雙平面干涉(注2)
      Victsin Static (注3)OKX
      Victsin PSI壓電振鏡OKX
      Victsin MST波長調諧OKOK
      注1:適用于大部分工件。
      注2:通常適用于透明工件,同時對上表面,下表面,厚度,進行測量。
      注3:基礎版本,不推薦用于高精度測量。



      測量精度

      jue對精度 注1Type 100~250Type 340Type 450~600
      PV31.64 nm或1/20λ42.19 nm或1/15 λ63.28 nm或1/10λ
      RMS6.328 nm或1/100 λ8.437 nm或1/75λ12.66 nm或1/50 λ
      注1:jue對精度被定義為"參考鏡的jue對精度"實際測量的jue對精度=jue對精度+重復精度。
      注2:波長為測量激光的波長,例如632.8 nm的測量激光,1/20約為31.64 nm,1/15約為42.19nm,1/12約為632.28 nm .
      注3:該精度為我們提供的標準平面參考鏡的精度,更高精度需求請聯系銷售人員。
      注4:非平面參考鏡的精度通常低于平面參考鏡,具體數值請聯系銷售人員確認。

      重復精度VICT-HighVICT-LowVICT-Dop
      PV1 nm或1/633 λ3 nm或1/211λ10或1/63λ
      RMS0.1nm或1/6330 λ0.3 nm或1/2110 λ1 nm或1/633λ
      注1:實際精度與測量環境有關,zui高精度與VICT-High相同,表格內數值考慮了輕微的環境擾動。


      PV值是 Peak to Valley (峰值與谷值的差值 )


      RMS值是 Root Mean Square ( 均方根值 ),根據經驗RMS值是PV值的1/3左右。因為像平面這類的簡單形狀,大多使用PV值來表示。

      例如:面型精度的PV值是1/4λ時,表示理想平面的Max. 偏差值是158.2nm


      重復精度定義

      連續100次測量的允差 (95%置信度)


      測試環境

      樣品放置于氣浮隔振桌.上,樣品距離參考鏡100mm,光路被遮光罩包裹,房間內空調關閉,以避免氣流擾動。


      被測物

      直徑小于參考鏡的80%,平面反射工件,反射率4%+1%,PV精度高于50 nm, RMS精度高于5 nm。


      可靠性與環境要求

      硬件可靠性平均無故障工作時間>1000小時
      平均連續無故障工作時間>12小時/天
      軟件可靠性平均連續無故障工作時間>12小時/天
      對準角度允差

      ± 3°

      光瞳調焦范圍≥±1.5米
      運輸和貯存溫度+10~+40 °c
      濕度RH≤60%
      工作條件溫度+20~+25℃
      溫度變化≤±1℃ @24小時
      濕度RH≤50%
      電壓AC 220V,50 Hz,1.5kW











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